QL 气路测量控制管线系统

设备特点

•具备 IC 级复杂气路盘设计能力：可设计满足集成电路（IC）领域严苛要求的复杂气路结构，适配 IC 制造中多气体、高精度的气路输送需求，保障精密工艺下的气路稳定性；

•支持定制化服务：能根据客户的具体工艺需求（如气体类型、压力 / 流量参数、接口规格）调整气路盘设计，提供个性化解决方案，避免通用产品与实际需求不匹配的问题；

•嫁接 MFC 研发生产经验：依托七星流量计多年的 MFC 研发与生产技术积累，将 MFC 的精准流量控制技术融入气路盘设计，提升整体气路系统的流量控制精度与可靠性；

•高性价比优势：在保障性能与质量的前提下，通过优化设计与生产流程控制成本，为客户提供兼具可靠性与经济性的气路输送方案，降低客户设备投入成本。

产品应用

•真空能力：覆盖 0.2Pa~1×10⁻⁶Pa 范围，可适配不同真空度需求的工艺场景，确保气路系统能稳定维持目标真空环境；

•漏率（VCR 密封）：小于 1×10⁻⁹Pa˙m³/s，极低的漏率保障气路密封性，避免气体泄漏导致的工艺污染或参数波动；

•管路内表面光洁度：小于 0.2Ra，光滑的内表面减少气体杂质吸附，降低因管路污染影响气体纯度的风险；

•管路内表面处理：采用 EP（电解抛光）处理，进一步提升管路内表面洁净度与耐腐蚀性，适配高纯度气体输送需求；

•IGS 尺寸与接口 / 密封形式：IGS 尺寸为 1.125 英寸，接口采用全金属密封，密封形式可选 IGS-C 型、VCR 或卡套，适配不同设备的连接需求，同时保障密封可靠性；

颗粒度控制：连续 3 次测试中，0.1μm 以下颗粒数≤3 个，严格控制管路内微小颗粒，避免颗粒进入工艺环节影响产品质量（尤其适配半导体、精密电子等领域）。