Octiv Poly 2.0--Impedans射频功率计

Octiv Poly 2.0--Impedans射频功率计

品牌：Impedans

型号：Octiv Poly 2.0

公司介绍：

Impedans是一家爱尔兰的射频和等离子处理智能传感器服务商，主要提供用于射频和等离子过程监控的智能传感平台。其服务涵盖多个领域，包括半导体、真空镀膜、、硬盘和航空航天等。

Impedans的技术优势在于其***的测量方法和高精度的数据采集能力，这使得其在等离子体处理领域具有较高的市场竞争力。通过提供高质量的传感器和测量设备，Impedans在多个工业领域中赢得了良好的声誉。

Octiv Poly 2.0--Impedans射频功率计产品介绍：

Octiv Poly 2.0 VI探头是一款多频在线射频电压、电流和相位测量系统，支持网络通信（可提供以太网Web服务协议、EtherNet/IP或EtherCAT）。该系统具有1%的准确度，能够可靠地实现腔室间匹配和过程重复性。其独特便捷的外形设计，便于进行改造以匹配机箱输出，从而方便直接进行等离子体监测。借助这种***的VI探头技术，可以消除产品报废事件、端点检测错误和不必要的预防性维护等问题。

主要特点

单个传感器可选择5个频率，每个频率下最多有15个谐波。

通过我们***的校准方法，在50Ω和非50Ω负载阻抗中具有***的功率精度（1%的真实精度）。

传感器运行重复性（<>

实时史密斯圆图视图，阻抗精度与离线矢量网络分析仪相当。

频率跟踪标准为基频的±10%，可定制用于互调频率监测。

***的脉冲射频能力，具有实时脉冲频率和占空比监测以及“时间分辨”模式。

USB、以太网、EtherCAT和串行通信协议，具有易于使用的API进行集成。

主要优势和应用

使用等离子体阻抗监测（PIM）和谐波谱技术清洁和蚀刻端点功能。

证明了对<>

检测晶圆放置问题、漏气、跨工艺污染和许多其他常见的等离子体故障。

测量整个腔室的健康状况，无需进行不必要的预防性维护。

通过实现故障检测和早期干预，成本效益***。

相关型号：

Octiv Mono 2.0

Octiv Poly 2.0

Octiv Suite 2.0