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| | LTHS2 |
| 运动范围XY(µm) | 75 |
| 分辨率XY(nm) | 0,075 |
| 典型的噪声基准 XY(nm) | 0,0075 |
| 的重复性XY(nm) | 0,15 |
| 线性化(典型的) | 0,02% |
| 谐振频率X / Y(Hz) | 1500/1000 |
| 刚度 (N/µm) | 2/2 |
| 负载(kg)-水平使用 | 0,5 |
| 负载(kg)-垂直使用 | 0,3 |
| 传感器 | Silicon HR sensor |
| 尺寸W x L x H (mm) | 152,5 x 190 x 18,5 |
| 材料 | Al |
| 电缆长度(m) | 2 |
| 推荐控制器 | Standard or High Speed |