主动减震系统MAPS-008明立精机MEIRITZ

主动减震系统MAPS-008明立精机MEIRITZ

主动减震系统MAPS-008明立精机MEIRITZ

空气压力控制式主动减震系统

MAPS系列

MAPS-008,MAPS-016,MAPS-033,MAPS-065,MAPS-130,MAPS-240

空气压力控制式主动减震系统MAPS系列特点：

小型也能应对全自由度的振动。MAPS系列的活性减振系统是将垂直用和水平用空气压力执行器内置在紧凑型结构中的单元类型。通过使用4个单元，可以对所有自由度的振动表现出好的减振性能、阻尼性能和位置定位性能。

被动减振也能消除难以处理的频带振动。在被动减振中，固有振动引起的共振往往是一个常见问题，但通过激活化可以消除由固有振动引起的共振。并且在这一频段内也能获得出色的减振性能。例如，被动减振不擅长处理的2Hz附近的低频振动，相比被动减振，可以减小到1/30～1/100以下。

在标准MAPS下，10吨以上的装置可以进行减震。由于装置的大型化，使得装置本身固有振动数难以保持在较高水平，因此即使是以前几乎不会成为问题的低频振动也容易受到影响。这也是需要具有低频振动去除性能的主动振动控制系统的一个原因。

通过使用柔软的弹性体来支撑，被动减震装置可以消除X-Y台等带有运动装置的设备带来的整体大幅晃动，反而增加振动。

在主动减震中，通过反馈控制始终保持静止状态，可以减小晃动。此外，如果能够预先将台子的运动作为信号输出，就可以通过前馈控制使产生的振动最小，从而提供几乎没有晃动的环境。

当装置大型化时，倾斜也会成为问题。由于装置本身较重，倾斜时会因自重而产生变形，从而对精度产生显著影响。MAPS在进行控制时也考虑了水平精度，因此可以抑制倾斜并保持精度。此外，MAPS也考虑了位置定位精度，能够顺利进行如盘体或基板等的传递。

只需确保安装MAPS的空间，即可获得不受振动影响的环境。MAPS系列的控制系统非常稳定，不仅可以用于公司内部设备，还可以放心用于销售的产品。