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Difrotec点衍射激光干涉仪 D7-λ/1000
具体成交价以合同协议为准
2025-07-30上海市
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产品简介
Difrotec 在光学测试方面开发了一项突破性技术Difrotec 在光学测试方面开发了一项突破性技术Difrotec是超高精度光学表面贴图的。我们在光学系统和光学图像处理的数学建模，开发用于DUV和EUV光刻的高精度光学系统的组装，调整和测试的计算机模型的开发方面拥有30多年的经验，在点衍射波阵面研究方面已有8年以上的经验测试各种参数的光学元件。我们开发设计和制造了市场上台商......
详细信息
| 峰谷精度 | ± 0.6 nm （λ / 1000） |
| 峰谷分辨率 | 0.05 nm（λ/ 12000） |
| 波前RMS重复性 | < 0.23="" nm（λ=""> |
| 单点RMS重复性 | < 0.06="" nm（λ=""> |
| 激光类型和波长 | He-Ne ，632.8 nm |
| 数值孔径NA | 0.55（f＃0.91） |
| 数据采集 | 相移干涉技术（PSI） |
| 图像缩放系统 | 通过软件界面控制4倍光学变焦 |
| 采集时间 | 10ms |
| 曝光时间 | 最小40μs |
| 光学聚焦范围 | ±2m |
理想参考：无使用物理参考引入的传播错误
- 节省时间，无需更改大量物理参考
- 节省成本，无需购买昂贵的参考套件
透射球面检测精度比Fizeau干涉仪的检测精度高100倍
- 节省时间和成本，不需要中间仪器或其他方法来提高准确性
D7比其他干涉仪检查更多的表面特征
- 在安装和启动光学系统之前能更好地揭示制造缺陷误差，从而节省了成本
高稳定性
- 节省时间，出色的重复性提供了高准确性的结果
- 节省成本，检测不需要特殊的环境条件
应用范围广
- 结构紧凑简单，不论下实验室或工厂使用都可以
无回程误差
- 在测量非球面和自由曲面时，简化了设置，节省了时间和成本
测量方案
1.球形凹面：
2.球形凸面：
3.平面：
4.光学系统（波前质量测试）：
光学测试与测量
光学测试和测量服务包括测试光学系统的凹面，凸面，直角立方体，平面，非球面，自由形式和透射波前的表面图形，以及曲率半径的测量
光学设计与制造
基于在高精度光学系统计算机建模方面的30多年经验，我们建立了自己的合作伙伴关系，以设计和制造高质量的光学器件。我们在光学制造方面的长期合作伙伴是KPU-韩国工业大学。
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