$item.Name
$item.Name
$item.Name
$item.Name
$item.Name

首页>流量仪表>流量计>气体流量计

参考价:

MFC330 自主研发微小气体质量流量计

具体成交价以合同协议为准

2026-04-28苏州市
型号
MFC330
规格
请选择规格
参数
品牌:爱拓利 流量测速范围:重复精度:±0.5%F.S.kg/h 量程比:0-2,10,20,50,100,300,500 sccm 产地:国产 加工定制:是 质保:1年
苏州爱拓利电子设备有限公司

免费会员 生产厂家

该企业相似产品
气体流量计,气体质量流量控制器,MFC300,MFC330
产品简介
自主研发微小气体质量流量计MFC330在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型 的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、 CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系 统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
详细信息

自主研发微小气体质量流量计MFC330在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型 的应用场合包括:  电子工艺设备,  如扩散、氧化、外延、 CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;  以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系 统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

自主研发微小气体质量流量计

    产品特点

精准质量流量测量/控制

快速响应、高重复性

不受温度和压力的影响

工作压差范围大:0-1MPa

低压损可选

全金属比例阀可选

集成显示器可选

经济有效的解决方案

主要参数

介质要求  洁净干燥气体

气体种类 98+气体可选

量程 0-2,10,20,50,100,300,500 sccm

0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm

测量范围  0.5%F.S.(1:200)

控制范围  1%-1 00% FS.(1:100)

准确度  ±0.5% F.S.

重复精度  ±0.2%F.S.

线性度 ±0.2%F.S.

控制响应时间  <3 秒

预热时间  5 min(T95),30 分钟

阀门  常闭式


相关技术文章

同类产品推荐

产品参数

品牌 爱拓利
流量测速范围 重复精度:±0.5%F.S.kg/h
量程比 0-2,10,20,50,100,300,500 sccm
产地 国产
加工定制
质保 1年

规格类型

MFC330 4600元 100只可售
提示

仪表网采购电话

温馨提示

该企业已关闭在线交流功能

请拨打电话联系