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自主研发微小气体质量流量计MFC330在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型 的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、 CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系 统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

产品特点
精准质量流量测量/控制
快速响应、高重复性
不受温度和压力的影响
工作压差范围大:0-1MPa
低压损可选
全金属比例阀可选
集成显示器可选
经济有效的解决方案
主要参数
介质要求 洁净干燥气体
气体种类 98+气体可选
量程 0-2,10,20,50,100,300,500 sccm
0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm
测量范围 0.5%F.S.(1:200)
控制范围 1%-1 00% FS.(1:100)
准确度 ±0.5% F.S.
重复精度 ±0.2%F.S.
线性度 ±0.2%F.S.
控制响应时间 <3 秒
预热时间 5 min(T95),30 分钟
阀门 常闭式