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VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪

具体成交价以合同协议为准

2025-06-07重庆市
型号
重庆崇诺科技有限公司

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硬度计
产品简介
主要技术指标电源:220V50Hz功率:极限真空度:工作温度:RT-500℃
详细信息

主要技术指标

电源:220V 50Hz

功率:<560w(不含真空泵)>

极限真空度:< e-6mbar(配合本公司设备使用可达到e-5mbar)="">

工作温度:RT-500℃,精度±1℃(可根据实际需要提升温度)

靶枪数量:2个(可选配其他数量)

靶枪冷却方式:水冷

靶材尺寸:Ø2″,厚度0.1-5mm(因靶材材质不同厚度有所不同)

直流溅射功率:500W(可选)

射频溅射功率:300W/500W(可选)

载样台:Ø140mm

载样台转速:1rpm-20rpm内可调

保护气体:Ar、N2等惰性气体

进气气路:质量流量计控制2路进气,每个流量为100SCCM

尺寸:500mm×560mm×660mm

整机尺寸:1300mm×660mm×1200mm

重量:160kg

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