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参考价:
具体成交价以合同协议为准

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主要技术指标
电源:220V 50Hz
功率:<560w(不含真空泵)>560w(不含真空泵)>
极限真空度:< e-6mbar(配合本公司设备使用可达到e-5mbar)="">
工作温度:RT-500℃,精度±1℃(可根据实际需要提升温度)
靶枪数量:2个(可选配其他数量)
靶枪冷却方式:水冷
靶材尺寸:Ø2″,厚度0.1-5mm(因靶材材质不同厚度有所不同)
直流溅射功率:500W(可选)
射频溅射功率:300W/500W(可选)
载样台:Ø140mm
载样台转速:1rpm-20rpm内可调
保护气体:Ar、N2等惰性气体
进气气路:质量流量计控制2路进气,每个流量为100SCCM
尺寸:500mm×560mm×660mm
整机尺寸:1300mm×660mm×1200mm
重量:160kg