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浙江高精度气体流量控制器
流量传感器采用气体流过外热源加热的毛细管时产生的温度场变化 来测量气体质量流量,通过电桥将温度场的变化转化为电信号并经过电 路放大、滤波处理,处理后的信号采集进处理器芯片,再通过气体流量 外标法和温压补偿得到准确的真实气体流量值。气体实际流量值与流量 设定值进行比较, 将差值通过智能算法去控制调节阀门,闭环控制流过 通道的流量使之与流量设定值相等,实现气体流量的精准控制
MFC330 系列气体质量流量计/控制器,其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
被测气体进入后,先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构,即使环境温度变化或进出口气压波动,MFC330 依然能够保持稳定的流量控制。
