HAXN-2 光刻工艺生产超纯水设备/全自动/旭能环保

光刻工艺生产超纯水设备/全自动/旭能环保

超高纯度：能生产出电阻率高达 18MΩ・cm 以上，总有机碳（TOC）含量极低，颗粒计数极少的超纯水，满足光刻工艺对水质的**要求，确保光刻胶的分辨率和精度。

稳定运行：旭能采用高品质的膜组件、泵、阀门等关键部件，经过严格的设计和测试，可长时间连续稳定供应高质量超纯水，保证光刻工艺的连续性。

自动化程度高：旭能配备**的 PLC 控制系统、传感器网络和远程监控系统，可实时监测和控制水质、压力、流量、温度等参数，实现自动运行、调节、保护和故障报警，减少人工操作和维护成本。

灵活定制：可根据不同的光刻工艺需求、生产规模和水质要求，进行模块化设计和定制化配置，方便设备的安装、调试和扩展。

节能环保：旭能采用节能型泵和优化的工艺流程，降低能耗；同时，一些设备采用的 EDI 技术减少了酸碱废水的排放，符合环保要求。

定期更换耗材：预处理的精密过滤器、活性炭过滤器的滤芯以及终端的微孔滤膜等需定期更换，如精密过滤器的 PP 滤芯 3-6 个月更换一次。

监测膜和树脂性能：定期监测反渗透膜的脱盐率和水通量，通过测量进水和产水的电导率评估；离子交换树脂饱和后要进行再生或更换。

清洁与更换杀菌部件：紫外线杀菌单元中的灯管使用寿命一般为 8000-10000 小时，到期需更换，同时要清洁石英套管，保证紫外线透过率。