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GD-HS10半导体工厂气体检测仪
具体成交价以合同协议为准
2025-01-10郑州市
- 型号
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产品简介
一款专门用于检测半导体工厂中可燃、有毒、有害气体浓度的仪器
详细信息
产品详情
GD-HS10半导体工厂气体检测仪是一款专门用于检测半导体工厂中可燃、有毒、有害气体浓度的仪器，具有高灵敏度、高可靠性、低浓度检测等特点。电磁泵吸式吸气，进气管长度可达30米，气管接头采用快插接头，操作施工方便。支持行业内如氨气、、氯气、硅烷等四十多种气体的检测，适用于半导体晶圆、液晶面板及光伏面板制造等行业。
产品优势
1.泵寿命长，流量恒定
电磁泵吸原理，相对电机式机械磨损小
流量监控，PID控制算法
2.配件替换简单，便于维护
卡扣式前盖，手动开合
传感器模组、泵模块化设计
3.通信方式丰富
标配4~20mA
可选485总线、消防总线或Ethernet
4.气体检测精度高
温度补偿
零点自动校准
5.大屏显示，内容丰富
LCD点阵屏，可显示任意字符
支持中英文切换
6.支持多种气体检测
支持电化学、催化、光学等原理传感器
可搭配热裂解器实现NF3气体检测
7.参数可配，使用灵活
零点抑制、零点跟踪可配置
报警阈值及延时，报警屏蔽可配置
8.报警联动，输出控制
内置ALM1、ALM2、故障3个继电器
主要应用
适用于半导体制造、液晶面板制造、光伏制造和电池制造等行业。是一款高精度、 高灵敏度的气体检测仪， 能够准确地检测和监测工厂中的有毒气体、 、 腐蚀性气体等。
技术指标
| 检测气体 | 支持多达百种气体（不断扩充中…） | 气体报警指示 | ALM1指示灯亮红色/ALM2指示灯亮红色，屏幕指示ALARM1/ALARM2 |
| 检测原理 | 电化学、催化、光学 | 气体报警动作 | 自动复位，记录触发和复位记录 |
| 采样方式 | 泵吸 | 气体报警控制 | ALM1/ALM2继电器动作，常开常闭可配置 |
| 流量 | 默认0.5L/min±10%，可调 | 故障报警类型 | 流量故障/传感器故障/通信故障 |
| 工作方式 | 连续监测 | 故障报警指示 | 故障指示灯亮黄色 |
| 响应时间T90 | 电化学 ＜ 60s，催化 ＜ 30s | 故障报警动作 | 自动复位，记录触发和复位记录 |
| 示值误差 | 不同气体不同，详见具体传感器参数 | 故障报警控制 | 故障继电器动作，常开常闭可配置 |
| 检测量程 | 不同气体不同，详见具体传感器参数 | 检测仪功能 | 报警延时/零点抑制/零点跟踪/灵敏度补偿/实时流量/零点平移/跨度标定/标定记录/报警记录/事件记录/ |
| 分辨率 | 不同气体不同，详见具体传感器参数 | 可扩展热裂解 | 是 |
| 气体单位 | 不同气体不同，详见具体传感器参数 | 输出信号 | 4-20mA/以太网 |
| 浓度显示 | LCD点阵屏，分辨率200 x 140 | 安装方式 | 壁挂 |
| 传感器模组接口 | 数字接口 | 电源 | DC24V/POE |
| 指示灯 | 4颗（电源指示灯绿色、ALM1指示灯红色、ALM2指示灯红色、故障指示灯黄色） | 功耗 | 小于3.5W |
| 继电器输出控制 | 3路（ALM1报警、ALM2报警、故障） | 重量 | 约 750g |
| 继电器容量 | AC125V、0.25A/DC24V、0.5A | …… | …… |
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