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TMC 混合压电陶瓷/气浮主动隔振系统
LaserTable-Base对现有光学平台的振动隔离技术进行了ji大改shan。通常,光学平台是由低频气动隔振系统支撑。虽然对于高频的隔离非常有xiao,但是实际上被动系统在1-3H乙范围内会放大振动。
TMC的STACIS技术通过将压电陶瓷制动器和惯性振动传感器结合的zhuan利技术来消chu而不是放大低频振动,成功地克服了这些局限。LaserTable-Base综合了气浮和STACIS这两种技术组成一个完整的振动消chu系统。由于两种隔离系统的串联,使此技术的振动隔离范围从非常低的频率到非常高的高频。
LaserTable-Base顶部的气浮部分是模块化的、可替换的。它可以是TMC的Gimbal PistonTM气浮隔振支腿,或者MaxDampB气浮隔离支腿,甚至可以是刚性支腿,这取决于实际应用的需求。
特点
采用STACIS专li技术
主动式压电陶瓷内部振动消chu系统从低于1Hz开始隔离振动
扩展行程的压电致动器,*高达60微米6个隔振自由度
为达到*大振动消chu,串联2个隔离系统采用MaxDamp空气隔离zhuan利技术操作简单,性能稳健,性价比高
桌子下有可用于放置设备的可选货架包含TMC的DC-2020数字控制器
模拟VC-A (2,000 μin./s,50 μm/s)振动测试,负载为2000磅(907 kg)
将低频被动MaxDampQ气浮隔振系统与压电陶瓷主动隔振系统串联,得到垂直和水平方向两个单独的隔振性能曲线。
由此产生的隔振性能对比明显,以至于在某些频率范围内,我们受到测量仪器噪声地板的限制,无法测量和演示完整的隔离性能。也就是说,在10-12 Hz以上,组合系统的实际性能有望超过理论隔振性能曲线,因为组合隔离理论上是两个子系统提供的隔离能力的总和。
TMC 混合压电陶瓷/气浮主动隔振系统
应用案例
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激光控制:激光电流源、激光器温控器、激光器控制、伺服设备与系统等等
探测器:光电探测器、单光子计数器、单光子探测器、CCD、光谱分析系统等等
定位与加工:纳米定位系统、微纳运动系统、多维位移台、旋转台、微型操作器等等
光源:半导体激光器、固体激光器、单频激光器、单纵模激光器、窄线宽激光器、光通讯波段激光器、CO2激光器、中红外激光器、染料激光器、飞秒超快激光器等等
光机械件:用于光路系统搭建的 gao 品 zhi 无应力光机械件,如光学调整架、镜架、支撑杆、固定底座等等
光学平台:主动隔振平台、气浮隔振台、实验桌、刚性工作台、面包板、隔振、隔磁、隔声综合解决方案等等
光学y件:各类晶体、光纤、偏转镜、反射镜、tou射镜、半透半反镜、滤光片、衰减片、玻片等等
染料:激光染料、荧光染料、光致变色染料、光致发光染料、吸收染料等等