产品简介
产品介绍 AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高,配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换,激光对中,测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且,通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察・分析。
详细信息
产品介绍:
AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高,配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换,激光对中,测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且,通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察・分析。
产品特点:
1. 自动化功能
高度集成自动化功能追求高效率检测
降低检测中的人为操作误差
4英寸自动马达台
自动更换悬臂功能
2. 可靠性
排除机械原因造成的误差
大范围水平扫描
- 采用管型扫描器的原子力显微镜,针对扫描器圆弧运动所产生的曲面,通常通过软件校正方式获得平面数据。但是,用软件校正方式不能消除扫描器圆弧运动的影响,图片上经常发生扭曲效果。
AFM5500M搭载了研发的水平扫描器,可实现不受圆弧运动影响的准确测试。