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氨气分析仪
具体成交价以合同协议为准
2024-05-14
- 型号
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产品简介
• 快速、连续实时测量• 出色的长期稳定性，优异的精度• 仪器占用空间小，可满足不同场景应用，无需使用耗材• 简便、快速的安装，便于现场操作
详细信息
- 商品名称: 氨气分析仪
- 商品编号: AE-NH3
- 副标: AE-NH3
- 微量组分: NH3
- 行业用途: 半导体制造
- 产品型号: AE系列
• 快速、连续实时测量 • 出色的长期稳定性，优异的精度 • 仪器占用空间小，可满足不同场景应用，无需使用耗材 • 简便、快速的安装，便于现场操作
性能
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适用气体：大气
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检测范围：详见技术参数表
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测量下限：详见技术参数表
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灵敏度：±0.75% 或 1/3LDL
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准确度：±3% 或 LDL
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响应速度：< 1minute to 95%
电子参数
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报警指示：系统报警
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供电要求：100-240VAC，50/60Hz
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功率：300W(MAX)
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用户界面：10.1 寸液晶显示屏
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信号输出：4-20mA 输出、RS485 输出、
自适应网络、RS-232 串行通信
气路系统和条件
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工作环境温度：10℃～ 40℃
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工作环境相对湿度：30%至 80%(无凝液)
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存放温度：-10℃ -40℃
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管路材料：316L 不锈钢
Ra < 0.25μm -
检漏测试：< 1×10-9mbar l/sec
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入口压力：0 ～ 15psi
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流量：约 1.0slm
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通入气体温度： 60℃
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进出气口气路：1/4VCR 公头
其它
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尺寸：730mm×310mm×248mm
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重量：15Kg
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外观：垂直面板
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被检气和背景气：NH3 in Air
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测量范围：0-10ppm
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测量下限：0.3ppb
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灵敏度：0.1ppb
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