Metrology Sensors GmbH开发和制造优秀技术，以提高显微镜自动化和AOI系统的吞吐量和质量。MSG的解决方案包括用于2D和3D表面的高速自动对焦系统、尺寸测量传感器、电机控制和光电组件。MSG的技术应用于各种行业，包括半导体、晶圆和电子产品的自动光学检测、显示检测和修复系统以及生物医学视觉系统。
MSG为其发挥的关键作用感到自豪，无论是在基础研究、提高生产效率还是通过直接向最终用户提供解决方案进行质量检查，还是为OEM供应商提供嵌入式技术。
德国MSG传感器、伺服驱动器、控制器◆自动对焦传感器:基于激光的焦点跟踪系统LAF传感器旨在实现光学检测设备和工业显微镜的实时焦点跟踪。该传感器广泛用于平板显示器、电子器件和半导体的AOI系统
我们的技术可实现以下焦点跟踪:
无图案表面
具有高对比度变化的图案表面
具有高倍率透镜的最小结构
独te功能:
混合激光/图像跟踪
三明治基板的多表面聚焦
自动设置
参考型号:LAF4、LAF5、LAF5-CH
LAF5直线激光自动聚焦跟踪系统:
用于自动光学检测(AOI)系统和工业显微镜的自动聚焦和跟踪
传感器投射一条激光线聚焦在样品上

适用于放大倍率为2倍至100倍的无限校正透镜，可见光，近红外、NUV、DUV

UI界面和软件库
德国MSG传感器、伺服驱动器、控制器◆电机驱动器接口:
为了能够将MSG的自动对焦传感器快速简单地集成到现有的机器设计中，MSG为步进电机和伺服电机驱动器提供了优化的控制，以实现最佳性能的闭环系统。
LAF-C2电机接口
LAF-C3电机接口与照明端口
◇>LAF-C2用于LAF自动聚焦和跟踪传感器的步进/伺服电机驱动接口
单个连接到LAF传感器，从MSG自动对焦到您的机器的所有连接都通过LAF-C2
双向脉冲输出电流源，用于驱动步进/伺服驱动器的光隔离器
高质量聚焦信号的模拟输出
可选:
模拟输出给出距离信号或具有未来的可配置速度信号
固件发布(控制伺服驱动器)
限位开关和安全停止的输入
RS232，用于与PC进行传感器通信
LAF5S-C2:1xLAF5传感器&1xLAF-C2步进/伺服驱动控制器。
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