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小量程气体流量计

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2026-03-13上海
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上海基深仪器仪表有限公司

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流量计
产品简介
参考价格:面议小量程气体流量计是一款质量流量计,既可以显示体积流量,也可以显示质量流量,用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、......
详细信息

小量程气体流量计是一款质量流量计,既可以显示体积流量,也可以显示质量流量,用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

产品实拍


产品特点

高精度、重复性好,信号稳定。

数字信号,数据可以链接电脑数据导出。

预热时间短、领漂小。

不受安装方位的影响。

体积小、安装简单、使用方便。

接口定义


接口定义

生产工厂

气体质量控制器,生产现场 (3).jpg     

     

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