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B30化学在线浓度计应用于半导体行业,罗森尼克斯Rhosonics 的超声波技术通过同时实时监测多种化学品浓度,可以更好地监督过程。技术的选择取决于需要在化学溶液中测量的浓度数量。Rhosonics 可实现高达 ± 0.0001 wt% 的测量精度。需要注意的是,罗森尼克斯Rhosonics 技术可用于使用超声波技术测量以下主要化学品或化学品浓度:
清洗和抛光:CMP浆料、H2O2、HF、NH3、BHF、KOF、HNO3、SC1、SC2、APM、食人鱼溶液、HCl、C6H8O7:H20、王水、碘溶液、HCl、HNO3、C3H8O(IPA)、C3H6O(丙酮)、(CH3)2CHOH、APM
光刻胶和剥离:TMAH、TMAH + PR + CO3、H2SO4:H2O2、SPM、H2Ta2O6、二甲基亚砜 (DMSO)、CeO2
蚀刻:TMAH、TMAH + PR + CO3、TBHA、H2SO4、HF、HNO3、KOH、C2HCl3、HNA
使用罗森尼克斯Rhosonics超声波技术,可以测量生产过程中几乎任何类型的化学品或固体溶液。除了半导体应用外,太阳能电池板和平板显示器中的类似工艺也可以从Rhosonics技术中受益。
在每个制造过程中,技术都可以发挥作用。B30化学在线浓度计应用于半导体行业,引入新技术可以提高生产率和工艺效率。其中一项技术是浓度监测设备,用于实时观察工艺化学品。在半导体行业中,以 精度测量化学品浓度非常重要,因为化学品的使用量很大。可以分析过程信息以改进过程。当与过程控制结合使用时,如果发生过程变化,系统可以直接采取行动。该分析仪有助于保持正确的化学浓度(在所需值内),以保持过程在 条件下运行。这有助于防止计划外停机,提高最终产品质量。因此,公司可以通过降低缺陷率来提高生产线效率。
B30化学在线浓度计应用于半导体行业
解决工艺挑战的解决方案
为了避免基板的低效蚀刻和清洁,化学浓度控制是不可少的。工厂将避免使用比预期更多的化学品。更少的化学品使用量提供了更低的可变生产成本,并提供了更环保的设施。浓度比可以通过测量仪器实时检查,以确保溶液是所需的混合物。