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Layerprobe分析样品表面和次表面层的成分和厚度。它是基于现有显微分析技术的一种无损分析的工具。与专用的薄膜测量工具相比,AZtec EDS微观分析系统中的Layerprobe速度更快、性价比更高、分辨率更高。
LayerProbe计算表面下各层的成分和厚度,*了常规EDS分析中获得的元素和相信息。
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