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德国MUEGGE MA3000C-403BB等离子体源
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2026-04-20北京市
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产品简介
德国MUEGGE MA3000C-403BB等离子体源适用于刻蚀沉积过程
设计旨在提供高稳定性和长寿命的等离子体处理，同时确保处理结果的一致性和优异的粒子性能
详细信息
设计旨在提供高稳定性和长寿命的等离子体处理，同时确保处理结果的一致性和优异的粒子性能
德国MUEGGE MA3000C-403BB等离子体源适用于刻蚀沉积过程
MUEGGE GmbH是一家在工业微波技术领域具有国际影响力的供应商，尤其在工业微波加热和等离子技术方面有着显著的专业优势。该公司的产品组合涵盖了微波发生器、部件以及相应的供电技术，广泛应用于等离子体工业、半导体和平板的应用程序。
主要产品：
MUEGGE微波发生器
MUEGGE微波头
MUEGGE电源
MUEGGE磁控管
MUEGGE波导元件
MUEGGE远程等离子体源MA3000C-403BB
MA3000C-403BB用于等离子体应用的远程等离子体源。这款设备主要用于等离子体工艺，如刻蚀和沉积过程。
设计旨在提供高稳定性和长寿命的等离子体处理，同时确保处理结果的一致性和优异的粒子性能。其远程等离子体源（RPS）通过在源内产生高密度的中性原子（自由基），为各种应用提供出色的工艺稳定性，包括快速去除光刻胶和聚合物、半导体、氧化物和氮化物的各向同性刻蚀，以及使用PECVD沉积致密层。此外，自由基的各向同性特性为去除高掺杂光刻胶和远程腔室清洁提供了的优势。
类型：远程等离子体源。
应用：适用于等离子体刻蚀和沉积过程。
耦合尺寸：KF 40。
材料：介电材料为蓝宝石（Saphir）。
电源电压：名义电压为 230 / 208 伏特。
输出功率：连续波（CW）下为 3000 瓦特。
频率：2450 兆赫兹。
MA3000C-403BB 的尺寸紧凑，设计用于快速且简便地集成到现有系统中。它还具有专力的 R3T 设计，优化了高吞吐量、长寿命和较低的拥有成本。
型号示例：
MUEGGE等离子体源MA3000C-403BB
MUEGGE磁控管头MH3000S-229BB
MUEGGE微波发生器MG030KG-511KE
MUEGGE微波头MH010KS-215BZ
MUEGGE微波头MH010KS-250BF
MUEGGE等离子体源MA1250C-003BC
MUEGGE磁控管1200006
MUEGGE磁控管1200033
MUEGGE自动调谐器MW2035H-230EC
MUEGGE去胶设备MA1250D-112BB
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