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OKAMOTO GNX300B晶圆研磨机
具体成交价以合同协议为准
2023-10-19上海
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产品简介
OKAMOTOGNX300B晶圆研磨机特点：GNX300B拥有BG研磨技术
详细信息
OKAMOTO GNX300B晶圆研磨机特点： |
GNX300B拥有BG研磨技术。 |
日本机械学会授予冈本标准传送方式及向下研磨方法技术奖 |
主轴机械精度可调 |
冈本自产铸金一体化结构，不易老化，精度持久 |
润滑系统有完善防护，避免异物进入造成磨损 |
适用晶圆尺寸：6”、8”、12” 晶圆厚度： 1000μm |
可切换全自动、半自动操作模式 |
17 寸触控操作与监控屏，监控气压、电流、水流、厚度等 |
研磨耗材损耗小，加工成本低廉 |
研磨硅屑细小，冲洗更干净 |
OKAMOTO GNX300B晶圆研磨机规格参数： |
规格 | GNX200B | GNX300B |
加工直径 | Ф200㎜ | Ф300㎜ |
主轴转速范围 | 0~3600rpm | 0~3000rpm |
主轴驱动电机功率 | 2.2kW/4kW | 5.5kW/4kW |
主轴进给速度范围 | 1~999μm/min | |
主轴数 | 2 | |
工作盘转速范围 | 1~300rpm | |
研磨轮尺寸 | Ф250㎜ | Ф300㎜ |
设备整重 | 3900kg | 5700kg |
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