相比SVHR系列机械手臂，可搬运质量提升2倍，具有较好的性价比优势

另外还保持了和SVHR系列机械手臂的兼容性，方便客户对设备进行升级改造

机械手臂标准臂长:160mm, 190mm, 260mm, 330mm

手臂关节处使用磁流体密封装置

真空密封：磁流体密封装置和波纹管

提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器

配备动作监视器

控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式

全轴采用2相步进电机

S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆

可以选配2相步进电机规格

手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质

晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式

可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供的手指

手臂

单臂

到达距离

520mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴行程

20mm / 40mm

可搬运质量

2kg (手臂第3关节处基准)