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3轴机械臂3轴圆柱坐标洁净机械手臂

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2023-10-17上海
型号
上海衡鹏实业有限公司

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该企业相似产品
电子元器件及配件,试验设备,半导体
产品简介
3轴圆柱坐标洁净机械手臂特点:超洁净无尘间用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂SCR3000CS系列适用于半导体生产设备内部
详细信息

3轴圆柱坐标洁净机械手臂特点: 


超洁净无尘间用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂SCR3000CS系列

适用于半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运

机械手臂标准臂长: 100mm, 130mm, 160mm, 200mm

适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式

配备动作监视器

控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

全轴采用2相步进电机

S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运玻璃基板

晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式

手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质

可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供的手指


3轴圆柱坐标洁净机械手臂基本参数


使用环境

洁净间内的大气环境

手臂

单臂

到达距离

340mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴行程

200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm

可搬运质量

3kg (手臂第3关节处基准)




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