英福康复合真空计

英福康真空计，英福康复合真空计的优点好处

从 5 x 10-10 mbar 至大气气压（3.8 x 10-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围

在 10-8 ...10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性

皮拉尼联锁保护 Bayard-Alpert 系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染

长使用寿命氧化钇铱丝

备有可选的图形显示器和现场总线接口

高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预

符合 RoHS 标准

低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

英福康复合真空计的典型应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量

工业镀膜

低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

英福康真空计的操作步骤与注意事项可归纳如下：  

1.安装与连接  

接口匹配：根据型号选择适配的真空接口，确保密封件（O型圈、垫片）无老化或变形，连接时避免过压（如KF法兰最大承压2.5巴）。  

电缆要求：传感器电缆长度≤50米，需屏蔽处理，电源需符合SELV安全标准（15-30VDC，纹波≤1Vpp），并配备保险丝（≤1A）。  

系统连接：真空计需与真空泵、阀门等系统组件串联，抽真空之前需预抽排除杂质，避免油气污染传感器。  

2.启动与校准  

开机初始化：长按电源键切换单位（帕、毫巴、托等），使用需在特定压强下校准。  

零点校准：使用“归零”按钮或数字接口进行自动校准，确保测量精度（如皮拉尼传感器精度±15%读值）。  

预热与稳定：部分型号（如电容薄膜真空计）需预热10-30分钟，待数值稳定后记录。  

3.测量操作  

压强范围控制：根据型号选择合适量程，避免超量程使用导致损坏。  

实时监测：观察显示屏数值变化，若出现骤升（如漏气）或异常波动，需立即停机检查系统密封性（可用氦质谱检漏仪检测）。  

单位切换：通过按键或数字接口切换单位（帕、毫巴、托、大气压等），支持四种单位循环切换。  

4.维护与存储  

日常维护：定期清洁传感器，避免水银污染（麦氏真空计需保持水银纯度），更换老化密封件，每3-6个月用标准真空源校准。  

存储条件：直立放置于干燥、避光、无腐蚀性气体环境（温度5-35℃，湿度≤60%），长期不用时每月通电预热30分钟防潮。  

安全防护：运输时严防倒置（防汞倒流），操作时避免剧烈震动，禁止在高压下启动高灵敏度传感器。  

维护与故障处理  

日常维护  

清洁：定期用干净气体吹扫传感器，避免粉尘或油污污染。  

滤芯更换：等便携式型号需定期更换过滤件，防止传感器堵塞。  

校准周期：高精度应用建议每月校准，常规使用每季度检查零点漂移。  

常见故障排除  

读数异常：检查管道密封性、传感器电缆连接，或重新校准。  

传感器损坏：若显示“CLEANGAUGE”，需拆卸并使用有机溶剂清洗；若灯丝熔断，需更换传感器单元。  

电源问题：更换电池或检查输入电压是否在额定范围内。  

英福康真空计安全注意事项  

气体兼容性  

避免测量易燃易爆气体（如氢气），部分型号仅适用于空气、氮气等惰性气体。  

腐蚀性环境需选择陶瓷涂层传感器）。  

操作规范  

高压场景（>1000mbar）需确保连接牢固，防止管道爆裂。  

维修时需断开电源，非专业人员勿拆卸内部电路。