INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG400 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5×10-10 mbar至大气压（3.8×10-10 Torr 至大气压）。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。选择 BPG400 单一经济型封装，在低成本、可重复的过程中进行基础压力测量。

好处

从 5 x 10-10 mbar 至大气气压（3.8 x 10-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围

在 10-8 ...10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性

皮拉尼联锁保护 Bayard-Alpert 系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染

长使用寿命氧化钇铱丝

备有可选的图形显示器和现场总线接口

高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预

符合 RoHS 标准

低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

皮拉尼复合真空计典型应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量

工业镀膜

低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制