真空零部件THERMOCERA磁控管阴极MAG系列

真空零部件THERMOCERA磁控管阴极MAG系列

真空零部件THERMOCERA磁控管阴极MAG系列

真空零部件，磁控管阴极MAG系列，LTE有机沉积源，真空引入端子，SiC3涂层碳零件

产品介绍

磁控管阴极MAG系列

磁控管阴极有高真空和出色的可维护性

采用夹紧环 轻松更换目标

Φ2英寸～Φ4英寸尺寸

磁性材料、烟囱口、注气、百叶窗等丰富的选择

RF、DC、脉冲 DC 组合高性能磁控管阴极，非常适合对现有设备进行添加、扩展和修改

主要规格

RF、DC、脉冲DC组合使用

水冷：4ℓ/min,0.35Mpa

目标厚度 1/16” 至 1/4”

外壳材质SUS304

目标夹具材料 Al, 或 SUS304

波纹管（柔性头型）SUS316

绝缘聚醚醚酮/聚四氟乙烯

密封材料 氟橡胶

高强度磁体包 NiFe；环氧树脂封装

LTE有机沉积源

有机薄膜材料蒸发源

低温（80 至 600°C）下具有优异可控性和响应性的蒸发源

稳定的沉积速率

材料填充和坩埚更换简便

主要规格

坩埚材质：石英（标准）、氧化铝

坩埚体积：1cc（LTE1）、5cc（LTE5）

外壳：SUS304

顶板： 氧化铝

温度传感器：K型热电偶

固定方式：M6固定支架（或CF、ISO法兰）

真空引入端子

SiC3涂层碳零件

SiC涂层材料具有长寿命、优异的附着力和均匀性

SiC（立方碳化硅）涂层碳零件，具有高纯度、高耐热性和导热性等优异的基本性能。

特征

交货快！（收到订单后至少 11 周）

膜厚均匀性 最小误差±5μm至最大误差±10μm

即使在精细形状上也能获得均匀的涂层：纵横比 5:1Φ3mm x 深度15mm 盲孔也可镀膜

优异的耐热性、耐腐蚀性、耐磨性

涂层厚度：最薄20μm～最厚120μm

用法

外延生长用晶圆

单晶拉制装置零件

MOCVD 基座

晶圆托盘

持有者

碳化硅涂层加热器

坩埚等