1. 清洗镀膜一气呵成，杜绝二次污染；

2. 上开启式结构，方便观察试样；

3. 产品采用全自动控制方式，触摸屏，数字化显示；

4. 可通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果；

5. 稳定的射频电源，均匀的温度分布，提高成膜质量；

产品型号

NBD-PECVD1200-50IIT

电气规格

AC220V 3KW 射频功率：300或500瓦 13.56Mhz

可达温度

1200 ℃ （<1小时）

连续温度

1100 ℃ （连续）

可达加热速率

≤ 20 ℃/分钟

加热区长度

200mm+200mm（两个加热温区分别加热，分体式设计使温度梯度可以达到极限）

炉管尺寸

Φ50*1800mm

射频线圈

采用多节点镀银的水冷铜线圈，可匹配不同频率的射频电源

控制系统

1.可预存15条温度曲线，避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦；

2.实验过程更加直观，操作更加便捷；

3.可另选配无线控制模块，实现远程操控；

4.具有超温报警、断偶提示、漏电保护等。

温度精度

+/- 1 ℃

加热元件

Mo掺杂的Fe-Cr-Al合金

密封系统

真空度：≤10Pa（机械泵），达到启辉条件。

压力测量与监控

采用数显真空计可直观显示设备的真空度，实验数据及效果更加准确。

供气系统

采用质量流量计控制，与设备一体化，方便控制，出厂前已进行漏气测试工作

净重

100KG

设备使用注意事项

1. 设备炉膛温度≥300℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；

2. 设备使用时，炉管内压力不得超过0.125MPa（压力），以防止压力过大冲开密封法兰；

3. 高真空下使用时（10的负3次方Pa），设备使用温度不得超过800℃。

服务支持

1年有限保修，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如炉管和O形圈等）