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产品型号:NBD-103(B)
该系统采用分子泵作为主工作泵,103(B)真空系统采用机械泵作为分子泵前级泵,机械泵内部已配有隔断放气装置,它主要由连接管道,103(B)真空系统分子泵,机械泵构成,通过标准配件连接,全部采用不锈钢材料,电抛光处理。系统设计有预抽功能。
主要配置:
序 号 | 主要配置 | NBD-103(A)系统 | NBD-103(B)系统 |
1 | 机械泵 | 抽气速率:4L/S 电机功率:400W 极限压强6X10-2Pa | 抽气速率:6L/S 电机功率:500W 极限压强6X10-2Pa |
2 | 分子泵参数
| 抽气速率:100L/S 极限压强:6X10-6Pa 启动时间:<2min 额定转速:43000转/分 冷却方式::风冷/水冷 | 抽气速率:600L/S 极限压强:6X10-6Pa 启动时间:<2min 额定转速:27000转/分 冷却方式::风冷/水冷 |
3 | 分子泵控制电源 | 电压:200~240V 输出功率:250W 加速时间:3分钟 输出频率:高速704Hz±10% 低速430 Hz±10% | 电压:380~410V 输出功率:400W 加速时间:3分钟 输出频率:高速704Hz±10% 低速430 Hz±10% |
4 | 复合真空计 | 工作电电压: 220V 50~60HZ 电阻规阻值:约85 欧 自动保护(电离)>10Pa 电离规管测量范围:100~1010-5Pa 电阻规管测量范围:105 ~10-1 pa | 工作电电压: 220V 50~60HZ 电阻规阻值:约85 欧 自动保护(电离)>10Pa 电离规管测量范围:100~1010-5Pa 电阻规管测量范围: 105 ~10-1 pa |
5 | 高真空手动隔断阀 | 采用氟胶圈密封,快卸法兰接口,漏率达5X10-9 Pam3/s | 采用氟胶圈密封,快卸法兰接口, 漏率达5X10-9 Pam3/s |
6 | 103(B)真空系统连接管路 | 采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于 1×10-9Pa.m3/s | 采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于 1×10-9Pa.m3/s |
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