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PlasmaPro 100 ALE

具体成交价以合同协议为准

2023-07-19上海
型号
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原子力显微镜 扫描电容显微镜 冷却台 AFM探针
产品简介
As layers become thinner to enable the next generation semiconductor devices there is a need for ever more precise process control to create and manipulate these layers. The PlasmaPro 100 ALE delivers......
详细信息

我们的设备和工艺已通过充分验证,正常运转时间可达90%以上,一旦设备安装完毕,可立即投入使用。PlasmaPro 100系列市场应用广,包括但不限于: MEMS和传感器、光电子、分立元器件和纳米技术。它具有足够的灵活性,可用于研究和开发,通过打造质量满足生产需求。

PlasmaPro 100 ALE 的特点:

  • 准确的刻蚀深度控制;
  • 光滑的刻蚀表面
  • 低损伤工艺
  • 数字化/循环式刻蚀工艺——刻蚀相当于ALD
  • 高选择比
  • 能加工200mm的晶圆
  • 高深宽比(HAR)刻蚀工艺
  • 非常适于刻蚀纳米级薄层
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