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108 离子溅射仪
具体成交价以合同协议为准
2023-07-01广州市
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产品简介
108是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜
详细信息
108是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
主要特性
- 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
- 操作容易快捷，控制的参数包括放气以及氩气换气控制。
- 可用MTM-10高分辨膜厚控制仪（选件）精确测定所镀膜的厚度。
- 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和的镀膜效果。
- 可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。
技术参数
| 溅射系统 | |
| 样品室大小 | 直径 |
| 靶材 | 标配黄金Au靶，Pt等其它靶材可选 大小：直径 |
| 样品台 | 可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为 |
| 溅射控制 | 微处理器控制，安全互锁 |
| 溅射电流 | 5~45mA可调 |
| 溅射头 | 低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩 |
| 计量表 | 真空： Atm - 0.001mbar，电流：0~50mA |
| 厚度监控 | 使用MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）精确测定所镀膜的厚度 |
| 控制方法 | 具有气体换气和泄气功能，带有“暂停”控制的数字定时器（5－300s） |
| 真空系统 | |
| 真空泵 | 2级直连式高速真空泵 |
| 抽气速率 | |
| 极限真空 | 5 x 10-3mba |
| 桌上系统 | 真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统 |
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