简介
Leica EM RES102 通过离子枪激发获得离子束,以一定入射角度对样品进行轰击,以去除样品表面原子,从而实现对样品的离子束加工。Leica EM RES102主要功能为:对无机薄片样品进行离子减薄,使得薄片样品可被透射电子穿过,从而适宜TEM透射电子显微镜观察;对无机块状样品进行离子束抛光、离子束刻蚀,样品表面离子清洗及斜坡切割,便于SEM扫描电子显微镜观察样品内部结构信息。
主要技术优势:
操作简便
● 19“触摸屏电脑控制单元,监控并记录制样过程
● 内置应用参数库
● 程序化制样参数设定,加速初学者学习曲线
● 帮助文件帮助初学者以及对设备进行维护
高效/节约成本
● TEM,SEM和LM应用功能集于一体
● TEM样品制备获得的薄区大,有效提高了TEM样品制备效率
● SEM样品制备可达25mm样品直径
● 预抽室系统帮助快速交换样品,减少等待时间,并保证了样品室的持续高真空
● 局域网功能方便远程操控
● LN2样品台使得温度敏感型样品可在优化条件下进行离子研磨
安全
● 精确的自动终止功能,适用于光学终止或透明样品的法拉第杯终止
● 在制样过程中可以时时存储活图像或视频
● 离子源和样品运动马达驱动,程序化控制,因而可获得重复性制样结果
主要技术参数:
● 具有2把离子枪,离子束能量为0.8keV-10keV,相对位置,可分别±45°倾斜,样品台倾斜角度-120°至 210°,离子束加工角度0°至90°,样品平面摆动角度<360°,垂直摆动距离±5mm。实际操作参数根据具体应用需要选择(系统备有参考参数,也可自行设置参数并存储)
● 可选配样品台:TEM样品台(φ3.0mm或φ2.3mm),FIB样品清洗台,SEM样品台,斜坡切割样品台(对样品35°或90°斜坡切割)等
● SEM样品台可容纳样品尺寸:直径25mm,高度12mm
● 全无油真空系统,样品室带有预抽室,保证样品交换时间<1分钟
● 全电脑控制,触摸屏操作界面,内置视频观察系统,可实时观察样品处理过程