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具体成交价以合同协议为准
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Automegasamdri-934, Series C
新配置的专用“慢充”控制,给样品腔体提供理想的二氧化碳流体动力学,保护了大多数易脆样品;
外部配置了PURGE后的过滤装置,保护样品,容易更换和后期维护;
采用了的“Vortex Swirl”非机械搅拌,使PURGE而不至于破坏样品;
高效内部封闭冷却循环系统,可以快速冷却腔体温度,缩短操作时间;
内置SOTER冷凝器,分离废弃乙醇和废气,消除排气噪音;
的样品室填块,可以改变样品室直径,减少液态二氧化碳的消耗量和处理时间,并兼容不同尺寸晶圆的处理;
内部过滤系统,过滤流进样品室的液态二氧化碳,过滤颗粒尺寸达到0.08μm;
一次运行可以处理5片4英寸晶圆,改变样品室尺寸,每次运行也可以分别处理3英寸、2英寸晶圆及10mm方晶;
标配特氟龙兼容的4英寸、3英寸、2英寸晶圆样品架和10mm方晶样品架各1个;
垂直样品室,内腔有照明,样品室盖子带观察窗;
明亮的LCD触屏控制;
内置出厂自动运行程序并可创建和保存个性化程序;
所有内部表面适用于CO2,丙酮和超纯乙醇;
可以重复设置的参数,确保结果的可重复性;
集成自动控温和静态压力控制模块,确保自动安全的运行;
洁净室和防静电兼容设计;
所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准;
外部尺寸:宽19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm);
安装占地尺寸:宽27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm);
样品室尺寸:内径4.5” × 深1.25”,样品室容积:326 ml;
LCO2的流速是通过带游标卡尺的微型计量阀门来控制;
120V/50-60HZ(可选其他电压);
高压不锈钢LCO2管(内衬Teflon) 3 米长;
双T型过滤装置,双重过滤微小颗粒,过滤装置可预先与LCO2管连接,安装方便;
安装工具;
防静电排气管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气;
样品室O型圈3个,样品室LED照明灯1个,3A和8A保险丝各2个;
3个Teflon样品室填块,使得样品室直径包括4、3、2和1.25英寸;
直径为4、3、2英寸晶圆样品架和边长为10 mm方晶样品架,样品架HF兼容;
用户手册;