CC2000S气缸柜TOYOKOKAGAKU东横化学

CC2000S气缸柜TOYOKOKAGAKU东横化学

气缸柜CC2000S,SEMI,BSGS；气体箱VMB,VMP

气缸柜CC2000S的4大基本原则

保持高纯度气体质量：为了应对以半导体制造工厂为代表的高纯度品质的需求，我们通过严选零部件和配管等材料，实现了高品质气体的供应。

以安全为设计理念：针对有毒、易爆等高危气体的安全供应，我们根据每种气体的物理特性进行设计。

设计时考虑到稳定的供应：针对24小时365天不间断供应系统的需求，我们根据应对各种可能出现的问题的丰富经验，设计出稳定的供应。

减少环境负荷：我们正在实施不仅在日本而且在海外都受到重视的节能和低环境负荷措施。

气体面板/气体箱 (VMB/VMP)特征：

根据您的要求设计系统。

独立控制系统包括控制系统。

遵守法律法规，应对各种应用。

小尺寸到大尺寸可选。

氦气（He）回收设备特征：

可进行高精度浓度控制，回收的氦（He）混合气体可调整至规定的氦（He）浓度并稳定供给。

不受排气条件影响的系统，该系统可以应对连续排气和间歇排气，可以构建与客户生产系统相匹配的回收系统。

对应各种废气成分：可去除油分、水分、金属、生成气体等杂质，提高纯度。我们将在分析废气后设计系统。

通过选择最合适的设备来压缩和精炼长寿命氦 (He) 气，该系统限度地降低了消耗成本。

现场供应，我们还可以处理管理回收设备并供应浓度调整后气体的商业模式。

回收率为90%以上，系统的设计限度地减少了废气，从而实现了高产率。也可以追加对工件内部的氦（He）混合气体进行排气的功能。

按减排设备用途分类：

1.生产设备减排设备: 生产设备废气处理。

2.C/C VENT减排设备: 钢瓶更换过程中的残余气体处理。

3.应急减排设备: 供应设备漏气时应急。

气体检测仪是一种监测可燃气体和有毒气体泄漏的设备。从气体制造商的角度，我们将考虑安装工作、I/L 提案等，例如防止泄漏的安全措施。