液体流量计UCUF-E系列东京计装TOKYOKEISO

液体流量计UCUF-E系列东京计装TOKYOKEISO

液体超声波流量计UCUF-E系列，UCUF-K系列

产品介绍

UCUF-E系列液体超声波流量计专为测量超纯水和各种化学液体的小流量而设计，由UCUF-E型检测器和SFC型转换器组成。
UCUF 型检测器的所有接液部件均采用半导体行业用 PFA 制成，没有活动部件，也没有
O 形圈等容易积液的机械密封。由于其理想的清洁结构，该流量计非常适用于要求高清洁度的过程，例如半导体设备。
SFC 型转换器极大地降低了流体中含有的气泡的影响，这曾经是半导体工艺、化学液体工艺等中的一个问题。配备消除流体动力粘度影响的修正功能，支持各种类型的化学品。通过 RS485 通信功能可以集中控制过程。

特征

EMC标准：EN61326-1:2013/EN61326-2-3:2013

符合 RoHS 标准

采用带连接器结构的可拆卸传感器电缆

测量运动粘度高达 40 mm²/s 的高粘度流体

指示值±1%以内的精度（流速1m/s以上时）

宽量程（100:1 典型值）

具有理想清洁结构的探测器

耐腐蚀且易于安装

主要用途

半导体制造过程中纯水和超纯水的流量测量

各种药液注入工艺的流量测量

强腐蚀性液体的流量测量

CMP 浆料流量测量

其他中小口径过程液体流量测量

适用于清洗设备和 CMP 设备的流量测量和控制

UCUF-K系列液体超声波流量计是为测量超纯水和各种化学液体的小流量而设计的，由UCUF-K型检测器和SFC型转换器组成。UCUF 型检测器的所有接液部件均采用半导体行业用 PFA 制成，没有活动部件，也没有 O 形圈等容易积液的机械密封。由于其理想的清洁结构，该流量计非常适用于要求高清洁度的过程，例如半导体设备。

特征

EMC标准：EN61326-1:2013/EN61326-2-3:2013

符合 RoHS 标准

测量运动粘度高达 40 mm²/s 的高粘度流体

指示值±1%以内的精度（流速1m/s以上时）

宽量程（100:1 典型值）

具有理想清洁结构的探测器

耐腐蚀且易于安装

主要用途

半导体制造过程中纯水和超纯水的流量测量

各种药液注入工艺的流量测量

强腐蚀性液体的流量测量

CMP 浆料流量测量

其他中小口径过程液体流量测量

适用于清洗设备和 CMP 设备的流量测量和控制