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具体成交价以合同协议为准
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日本新宇宙COSMOS XP-703D半导体特气检漏仪
XP-703D(自动吸引式)半导体特气检漏仪
规格
检测对象气体
半导体材料气体(胂、膦、、硅烷、氢气等)
检测原理
热线型半导体式
采样方式
自动吸引式
可检测浓度
(单位:ppm)
砷烷、磷烷、、硅烷、氢气
AsH3、PH3、B2H6、SiH4、H2
0.2、0.3、0.1、0.5、1.0
检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10 秒以内