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参考价:
具体成交价以合同协议为准
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住友臭氧超纯水装置
应用:
半导体器件
Si/复合晶圆
FDP(LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED)
光罩
发光二极管
具体信息:
臭氧气体流速 | 5 to 150ppm |
臭氧气体供应压力 | *大0.25MPa |
臭氧化超纯水流量 | 1 to 90L/min |
原料气 | 氧、氮、二氧化碳 |
功率 | 200-220VAC, 3-phase |
优势:
浓度高,流量大
占地面积小,紧凑
运行成本低(功耗低,易损件数量少,放电单元寿命长)
高压耐受,长寿命放电单元
快速启动,快速响应
与臭氧监测仪(闭环控制)集成的稳定浓度
CE、NRTL、半标准适用
关闭期间免维护
无氮臭氧