概况：

锦正茂JZM-D30室温探针台的诸多设计都是专用的，探针台的配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。例如，要求的磁场型号，电源型号，磁场值，样品台的尺寸等，除此之外，该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用，可以提高磁场的高稳定性。因此，该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。

技术参数：

①磁场型号:EM3加长版

②电源型号:JP10-40，优于50ppm

③磁场值:>1000Gs@60mm间距

④磁场分辨率:优于0.1Gs

⑤三维探针座:高精度三维探针座4个

⑥载物台直径:30mm

⑦Y轴位移-15mm至200mm,精度优于10微米

⑧X轴位移±15mm,精度优于10微米

⑨Z轴行程10mm,精度优于20微米

⑩R轴旋转:360度粗调，±5°范围内精调，精调精度10'

⑪显微镜:体视显微镜，变倍范围优于10-150倍。

⑫机械加工精度优于10微米。

探针台选型注意事项

※*大需要测几inch的晶圆或者器件？是否需要测试破片或者单颗芯片，*小的单颗芯片尺寸？

※探针台机械精度要求多高？

※点测样品的电极尺寸？100μm *100μm或60μm *60μm的pad，还是FIB制作的mini pad，或者ic内部的metal线路？

※*多需要几个探针同时去点测？

※是否会用到探针卡测试？

※光学显微镜的*小分辨率需要用到多少？

※显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测？

※探针点测时，对电流的要**否达到100fa或者以下？低电容要**否要做到0.1pf？是否有射频需求？

※接驳的测试仪器接口有哪些？

※测试环境时是否会需要加热或者降温？ 是否需要密闭腔体？

※对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck？

※是否需要防震桌？

※若添置防震桌，是否有压缩空气？