日本MRM回吸阀MSV, MLSV

日本MRM回吸阀MSV, MLSV

日本MRM回吸阀MSV, MLSV

回吸阀 (Suck back Valves)

调整手阀可控制回吸量。

配管时更省空间。

接流体部全部都是氟化乙烯树脂(PFA/PTFE)，抗腐蚀。

超低粉尘处理(表面粗糙度加工、精密洗浄、积液少设计)。

使用流体 (Fluid) 化学品･纯水･气体 (Chemical liquid, DIW, Gas) ※2

流体温度 (Fluid temperature range) 10〜100℃

雰囲気温度 (Atmospheric temperature) 0〜40℃

液体流动部分的材质 (Materials of liquid flowed parts)

本体 (Body) : PTFE

薄膜 (Diaphragm) : PTFE

操作方式 (Operating system) 单动式 (Spring return actuation)

操作圧力 (Pneumatic supply pressure) 0.35〜0.6MPa

最大回吸量 (Amount of maximum suction) 0.12〜0.13cc

阀门尺寸 (Valve size) 6 (1/8”) 4TF3 8 (1/4”)

流通孔(Orifice) Φ5 Φ5 Φ5

流体圧力 (Fluid pressure range)

0.5MPa规格

(0.5MPa specification)

IN→OUT 0〜0.5MPa

背圧 (Back pressure) 0〜0.4MPa