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应用领域
脉冲射频辉光放电光谱仪不仅可对表面/深度进行剖析,同时也可做成分分析。它对固体材料,如金属、金属合金镀层、半导体、有机镀层、玻璃等中所有的元素都有很高的灵敏度,甚至是气体元素也可进行分析。
作为新兴的表面分析技术,辉光放电光谱仪凭借其功能和特点,可以与XPS和SEM有很好的互补。
GD-OES功能及用途
脉冲射频辉光放电光谱仪能够在短短几分钟内帮助您获得如下信息:
样品中含有什么元素?
属于哪个浓度水平?
样品在深度上是否分布均匀?
样品是否有镀层或应用了表面处理?
镀层的厚度是多少?
界面是否有污染?
样品是否被氧化?
不同层之间是否存在散射?
新的脉冲射频辉光源可以测试任何类型的固体样品:包括导体、非导体,甚至是在检测脆性样品或热敏样品时也具有优异的性能。
HORIBA Scientific的所有GD仪器都采用了高动态范围检测器,采用该项技术,使仪器的灵敏度可以做到实时、自动优化。这样在分析样品的时候可以做到对样品的痕量变化到常量浓度分析,进行快速灵敏的检测而无需任何折衷或参数预设。
GD-Profiler™ HR
概要
HORIBA Jobin Yvon GD-Profiler™ HR 对于解决分析问题,即使是复杂的基体,提供了高分别率和元素数量。60种元素(包括气体元素)可以同时分析。
特征
RF射频发生器- 标准配置,符合E级标准,稳定性高,溅射束斑极为平坦,等离子体稳定时间极短,表面信息无任何失真。
脉冲工作模式既可分析常见的涂、镀层和薄膜,也可以很好的分析热传导性能差和热易碎的涂、镀层和薄膜。
多道(同时)型光学系统可全谱覆盖,光谱范围:110nm至800nm,包含远紫外,可分析C, H, O, N, Cl
HORIBA Jobin Yvon 的原版离子刻蚀全息光栅保证了仪器有光通量,因而有高的光效率和灵敏度
HDD® 检测器可进行快速而高灵敏的检测,动态范围达到10个量级
宽大的样品室方便各类样品的加载
QUANTUMT XP软件可以多种格式灵活方便的输出检测报告
激光指点器可用于准确加载样品
HORIBA Jobin Yvon单色仪(选配件)可极大的提高仪器的灵活性,可同时测定N+1个元素
GD-Profiler HR 1米焦距,分辨率高达14pm,可同时分析60个元素.
GD-Profiler HR 可以附加选配1米焦距单色仪,分辨率高达9pm.