工作过程中，清洗工作腔与外界密封隔离。

工作腔、旋转支架及载片架均采用耐腐蚀不锈钢，表面经特殊严电化学处理；

旋转机构经精密的动、静平衡校验，保证系统工作时的平衡性、减少振源的产生。

精密的动、静平衡保证使得放硅片盒夹具与甩干机的位置无需一一对应，操作方便。

采用宽频率的特种阻尼器，精密减震及阻尼。使系统具有良好的减震效果。

采用驱动电机，进口变频器，提速平稳；采用磁力平衡制动，速度快，制动平均时间小于20秒。

特制喷头和气液流体控制系统，全自动切换控制。

管道、阀门、接头采用304不锈钢、聚四氟材料和高纯管件。

采用气缸实现自动开门手动关门，平稳安全可靠。

工作中采用防静电控制。

顶盖采用硅橡胶加热板辅助加热系统，保证顶盖烘干后干燥不滴水。

程序设计可靠。速度调节，温度调节，时间调节等每道程序指令用户都可以在触摸屏上任意设定、修改、保存。

运行过程、内容、信息（包括故障信息）在工作过程中均在触摸显示屏汉显，操作人员对设备的工艺步骤、运行状态一目了然。

采用电子变频调速技术无级调速，速度提升变换稳定。

系统软件具有故障实时显示及报警功能。

所有电控元器件均采用国际国内品牌。

采用微处理器检测实时工作状态。具有关门故障报警、超温报警、驱动电机过载报警、低油位报警、制动故障报警、多种传感器故障报警等；

具有整机漏电保护装置和接地端子。