微小型气体流量计

原理&结构

FGM222系列质量流量控制器（Mass Flow Controller） 是基于流量传感器芯片，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所 开发的一款智能化、高精度的气体质量流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、不锈钢1.4435接液材质、高精度微机电 流量芯片等，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。在输出方面，带有工业级液晶触控显示屏，具备流量设置、瞬时 流量和累积流量显示等功能。输出信号可选择：4-20mA 和 1-5V 模拟信号，以及 RS485 等数字 通信方式。

特点

温度和压力不敏感

优越的零点稳定性

超快的响应速度

良好的重复性和再现性

多种信号输出方式

采用液晶触控显示和控制

配备比例电磁阀

微小型气体流量计

应用

半导体加工

燃烧控制室

分析和环保

真空技术

表面处理

食品和制药

化工（石化）等过程控制

技术参数

尺寸图

选型表

科威勒（中国）自动化有限公司座落于上海市,主要产品包括变送器、压力变送器、差压变送器、液位变送器、液位计、温度变送器、热电偶、热电阻、双金属温度计、电磁流量计、涡街流量计、涡轮流量计、浮子流量计、蒸汽流量计、污水流量计、雷达液位计、磁翻板液位计自动化成套设备。产品主要用于电力、化工、冶金、钢铁等众多行业。公司创业至今，“追求优越、创造精品、诚守信誉、无私奉献”是我们不变的追求，以客户满意为最终目的的营销服务。为使产品服务不断提升，我们在不懈的努力！