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全金属角阀门(Bakeable All-Metal Valve)是属提升锥阀的一种。当提升锥被顶至顶端时, 阀门内部的结构腔是开放系统且气体流动不受阻碍。一旦提升锥被移动至阀门底部时,铜垫片之密封垫被压缩密封阀门,而阻绝气体的流通达到密封之效果。Htc日扬真空提供之全金属阀门设计适用于超高真空的环境下,其封止用的垫片是可耐大温差之金属垫片。
全金属角阀的技术参数:
工作温度范围:可烘烤至:400℃(开),300℃(闭)。
压力范围:1x10- 10 torr 到 760 torr。
全不锈钢结构。
泄漏率:10 - 10 mbar·l/sec.
封扭矩:
CR16 First 150kg-cm, Maximum 250kg-cm.
CR35 First 300kg-cm, Maximum 600kg-cm.
CR63 First 300kg-cm, Maximum 900 kg-cm.
寿命周期(用于Gasket垫片密封):
CR16 : 垂直/水平安装方向300次
CR35 : 垂直/水平安装方向300次
CR63 : 垂直安装方向300次 水平安装方向100次
方向:任意位置。