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低温气体制冷机 Gas Chiller 低温冷气机,气体制冷机是一种闭环制冷系统,设计用于将干燥气体(如氮气,氩气或空气)从环境温度冷却到低温状态。
特征:
结构紧凑,移动式设计
触摸屏操作,人机交互界面
不需要液氮LN2,干冰
出口气体流量可自行设定
集成式气体干燥器,无需外置(压缩空气配置选项,小于24SCFM的系统)
单级压缩机,节能环保,性能可靠
风冷或水冷机型可选
专有制冷剂,符合环境气候协议
低温气体制冷机 Gas Chiller 低温冷气机
应用:
电子产品的低温性能验证
半导体加工部件冷却
晶圆卡盘的低温冷却
真空腔室的低温气体充注
流变学研究
材料的低温表征实验
技术规格:
型号 | GC25 | GC60 | GC80 | GC80H |
温度 | ≤ -25℃ | ≤ -60℃ | ≤ -80℃ | ≤ -80℃ |
流量范围*1 | 3 ~ 10SCFM(1.4L/s ~ 4.7L/s) | 4 ~18 SCFM(1.9 L/s ~ 8.5L/s) | 4 ~18 SCFM(1.9 L/s ~ 8.5L/s) | 5 ~24 SCFM(1.9 L/s ~ 11.3L/s) |
供气流量 | 8 至 15 SCFM (3.8 至 7.0 L/s) | 15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s) | 15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s) | 15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s) |
性能*2 | ≤-25°C,制冷机输出10SCFM | ≤-60°C,制冷机输出18SCFM | ≤-80°C,制冷机输出18SCFM | ≤-80°C,制冷机输出22SCFM |
预冷时间 | ≤ 10min | ≤ 20min | ≤ 20min | ≤ 20min |
操作界面 | 高清彩色触摸屏,7 TFT | 高清彩色触摸屏,7 TFT | 高清彩色触摸屏,7 TFT | 高清彩色触摸屏,7 TFT |
系统语言 | 中文/英文 | 中文/英文 | 中文/英文 | 中文/英文 |
进/出气接口 | 1/4”Rc Female 3/8”Rc Female | 1/2”Rc Female 1/2”Rc Female | 1/2”Rc Female 1/2”Rc Female | 1/2”Rc Female 3/4”Rc Female |
通讯接口 | RS232,LAN | RS232,LAN | RS232,LAN | RS232,LAN |
制冷剂 | 专有环保型制冷剂 | 专有环保型制冷剂 | 专有环保型制冷剂 | 专有环保型制冷剂 |
噪音 | ≤ 52dBA | ≤ 65dBA | ≤ 65dBA | ≤ 69dBA |
气源要求 | ||||
气体*3 | 各种干燥气体(如:氮气,氩气,氧气等)或洁净的压缩空气 | |||
气体洁净度 | 油分子:≤ 0.01ppm,过滤至0.1um的油雾/粉尘污染物 | |||
进气温度 | +5°C至+25°C | |||
CDA时压力露点 | < 10℃ @0.62Mpa(90PSI) | |||
CDA时进气压力*4 | 15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s);标准25SCFM(11.8L/S) | |||
工作环境要求 | ||||
温度 | +10℃至+ 25℃ | |||
相对湿度 | 25%至65% |