ALICAT MCQ高压气体质量流量控制器

ALICAT MCQ高压气体质量流量控制器性能

• 可用量程：0-5000 slpm；最小0-10 sccm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）

• 可调比：50:1

• 校准精度（NIST可溯源）：±2%满量程

• 可重复性：0.2%满量程

• 标准控制器响应时间常数：50-100ms

• 无需预热时间

ALICAT MCQ高压气体质量流量控制器工作条件

• 兼容气体：98（MC系列）或130（MCS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体

• 工作温度：-10°C至+60°C

• 内部压力（静态）：305 psig（320 psia）

• 耐受压力：400 psig（415 psia）

• STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

ALICAT MCQ高压气体质量流量控制器包装清单

• MCQ系列高压气体质量流量控制器（电源需另行订购）

• NIST可溯源校准证书

• 艾里卡特操作说明书

配件（需另行订购）

• 过程端口接头和过滤器

• 电源

• 通讯线缆和转换线缆

• BB3和BB9多点式集线盒

• Flow Vision软件