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软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度X射线CCD相机,实现了*的能量分辨率。 和EDS一样可以并行检测,并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的*能量分辨率进行分析,超过了WDS的能量分辨率。
性能特点
产品规格
能量分辨率0.3eV(Al-L 光谱图73eV处测试)
获取能量范围:衍射光栅JS50XL的能区50-170eV
获取能量范围:衍射光栅JS50XL的能区70-210eV
分光谱仪艙安装位置:
EPMA的WDS接口:NO.2接口(正面右侧)
FE-SEM的WDS接口(正面左后侧)
分光谱仪尺寸 W 168mm×D 348mm ×H 683mm
* 从接口包括CCD的距离
分光谱仪重量 25kg
适用机型
EPMA : JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
SEM : JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F
应用领域
电子探针可以对试样中微小区域(微米级)的化学组成进行定性或定量分析,可以进行点、线扫描(得到层成分分布信息)、面扫描分析(得到成分面分布图像)。还能全自动进行批量定量分析。由于电子探针技术具有操作迅速简便、实验结果的解释直截了当、分析过程不损坏样品、测量准确度较高等优点,在冶金、地质、电子材料、生物、医学、考古以及其它领域中得到日益**地应用,是矿物测试分析和样品成分分析的重要工具。