岛津场发射电子探针EPMA-8050G 开创新纪元——的空间分辨率与超高灵敏度的结合
“The Grand EPMA” 诞生
搭载场发射电子光学系统将岛津EPMA分析性能发挥到。
从SEM观察条件到1μA量级,在各种束流条件下都拥有空间分辨率的场发射电子光学系统。结合岛津传统的高性能X射线谱仪,将分析性能发挥至。
当之无愧的 “The Grand EPMA” ,水准的EPMA诞生!
[性能特点]
● 的空间分辨率
电子探针可达到的别的二次电子图像分辨率3nm(加速电压30kV),分析条件下的二次电子分辨率。
(加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA)
● 大束流超高灵敏度分析
实现3.0μA(加速电压30kV)的束流。可超高灵敏度进行超微量元素的面分析。并且全束流范围无需更换物镜光阑。
● 高性能X射线谱仪
秉承岛津电子探针颇具优势的52.5°X射线取出角。采用4英寸罗兰圆半径的分光晶体兼顾高灵敏度与高分辨率。可同时搭载5通道高性能X射线谱仪。分析性能更胜。
● 全部分析操作简单易懂
全部操作仅靠一个鼠标就可进行的*可操作性。追求「易懂」的人性化用户界面。搭载导航模式,自动指引直至生成报告。
◎实现微区超高灵敏度分析的*技术
1、高亮度肖特基发射体
岛津场发射电子枪采用的肖特基发射体比一般传统SEM使用的发射体针尖直径更
大,输出更高。即可以保持其高亮度,还可提供高灵敏度分析*的稳
定大电流。
2、 EPMA专用电子光学系统
电子光学系统,聚光透镜尽可能的接近电子枪一侧,交叉点不是靠聚光透镜
形成,而是由安装在与物镜光阑相同位置上,具有独立构成与控制方式的可
变光阑透镜来形成交叉点的(日本:第4595778号)。简单的透镜结
构,既能获得大束流,同时全部电流条件下设定最合适的打开角度,将电子
束压缩到最细。当然是不需要更换物镜光阑的。
3、超高真空排气系统
电子枪室、中间室、分析腔体之间分别安装有筛孔(orifice)间隔方式的2
级差动排气系统。中间室与分析腔体间的气流孔做到最小,以控制流入中
间室的气体,使电子枪室始终保持着超高真空,确保发射体稳定工作。
4、高灵敏度X射线谱仪
岛津场发射电子探针最多可同时搭载5通道兼顾高灵敏度与高分辨率的4英寸X射线谱仪。
52.5°的X射线取出角在提高了X射线信号的空间分辨率的同时,又可减小样品对X射线
的吸收,实现高灵敏度的分析。
[应用举例]
1. 岛津场发射电子探针EPMA-8050G检测:无铅焊锡焊料中Ag与Cu的分布
对无铅焊锡焊料中大量含有Ag的区域进行面分析的数据。(加速电压:10kV;照射电流:20nA)
Ag的X射线像中颗粒形状与BSE像(COMPO)的颗粒形状一致。直径约0.1μm的Ag颗粒也清晰可辨(红色虚线圈出)。同时可确认Cu颗粒的存在(黄色虚线圈出)。
岛津场发射电子探针EPMA-8050G应用数据
2. 岛津场发射电子探针EPMA-8050G检测:生物体组织中的金属元素
以下数据为EPMA捕捉到的肿瘤细胞中铂(Pt)元素图像,通过靶向给药将抗肿瘤药物(铂络合物)导入小鼠头颈部肿瘤组织中后进行分析检测。
通过与癌细胞内的遗传因子DNA链结合,阻碍DNA的分裂(复制)以杀灭癌细胞,我们可以通过元素图像了解抗癌药物以何种形态进入癌细胞内。
岛津场发射电子探针EPMA-8050G应用数据