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| ULM 520 S-E | ULM 1000 S-E | |
| 设备尺寸 | 1080 x 380 x 480 | 1500 x 380 x 480 |
| 外测量的测量范围 [mm] | 0 至 520 | 0 至 1025 |
| 内测量的测量范围 [mm] | 0.5 至 365 | 0.5 至 870 |
| 直接测量范围 [mm] | 外测量:0 至 520 内测量:0.5 至 365 | 外测量:0 至 1025 内测量:0.5 至 870 |
| 测量不确定性 MPEE1 (L in mm) [µm] | 仅 ABBE 测量元素:MPE E1 ?(0.09+L/2000) 带基床测量系统:MPE E1 ?(0.6+L/1000) | 仅 ABBE 测量元素:MPE E1 ?(0.09+L/2000) 带基床测量系统:MPE E1 ?(0.6+L/1000) |
| 测量力 [N] | 0.2 ; 1.0 - 4.5 ; 11 | 0.2 ; 1.0 - 4.5 ; 11 |
| 可重复性 [µm] | Abbe 测量元素:?0.05 基床测量系统: ?0.2 | Abbe 测量元素:?0.05 基床测量系统: ?0.2 |
| 设备长度 [mm] | 1080 | 1500 |
| 质量 [kg] | 160 | 215 |