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RFS100 射频传感器

具体成交价以合同协议为准

2022-03-04
型号
该企业相似产品
气相色谱仪
产品简介
RFS100 射频传感器
详细信息
  • 概述
  • 下载

功能

  • CVD 应用

       - 晶片计量建模(薄膜应力、薄膜厚度)

       - 对过程腔室提供的真正功率进行有功功率控制

       - FDC(例如等离子体不稳定性、充电)

       - 腔室匹配(射频指纹)

  • PVD 应用

    - 晶片计量建模(电阻率)

    - FDC

    - 腔室匹配(射频指纹)

  • 蚀刻应用

       - 晶片计量建模(蚀刻速率)

       - 对过程腔室提供的真正功率进行有功功率控制

       - FDC

       - 腔室匹配(射频指纹)

手册

  • Brochure - RFS100.pdf |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|
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