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STM-2XM 双通道速率/厚度监测仪

具体成交价以合同协议为准

2022-03-03
型号
该企业相似产品
气相色谱仪
产品简介
STM-2XM 双通道速率/厚度监测仪
详细信息

功能

  • 两条测量通道
  • 用于速率、速率偏差或厚度的四个模拟输出
  • 八个可编程的数字输入
  • 八个可编程的数字输出
  • 每秒 10 个读数时的高精度
  • 显示质量或厚度
  • 共沉积监测功能

典型应用

  • 单/双传感器监测
  • 共沉积监测

规格

类型 STM-2XM
兼容传感器 Single/shuttered single or dual QCM sensor
传感器输入 Two
测量频率范围 6.0 to 5.0 MHz (fixed)
频率分辨率 ±0.03 MHz at 6 MHz
参考频率稳定性 ±2 ppm
厚度和速率分辨率/测量 ±0.037 Å @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz
测量间隔 0.10 s
存储薄膜 15
显示模式 Thickness/Mass
数字输入 Eight
数字输出 Eight
模拟输出 Four
模拟输出额定参数 0 to +/-10 V, 10 mA
继电器额定参数 Up to 48 V (dc) • V (ac), 2A
电源要求 120/240, 50/60 Hz, 2.5 VA

零件号

STM-2XM
零件号 明细
STM-2XM-G1 STM-2XM 监测仪,美式电源线
STM-2XM-G2 STM-2XM 监测仪,欧式电源线

附件

名称 说明
Easy Rate Single Sensor
前装式单传感器
前装式双传感器
炫酷抽屉单传感器
炫酷抽屉双传感器
薄型双传感器
UHV 可烘烤传感器
ALD 传感器
溅射传感器
零件号 明细
783-014-008 机架安装套件 - 在一个 48.3 厘米(19 英寸)机架中安装一个 STM-2XM 仪器
783-014-009 双机架安装套件 - 在一个 48.3 厘米(19 英寸)机架中安装两个 STM-2XM 仪器
Oscillator kits (包括振荡器和电缆)
783-500-109-10 3 米(10 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 3 米(10 英尺)BNC 电缆
783-500-109-25 7.6 米(25 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 7.6 米(25 英尺)BNC 电缆
783-500-109-50 15.2 米(50 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 15.2 米(50 英尺)BNC 电缆
783-500-109-75 22.8 米(75 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 22.8 米(75 英尺)BNC 电缆
Oscillator Only (未随附电缆)
783-500-013 仅 OSC-100 振荡器(无电缆)
Cables
782-902-011 15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆,公型/母型
782-902-012-10 3 米(10 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-25 7.6 米(25 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-50 15.2 米(50 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-75 22.8 米(75 英尺)BNC 电缆,公型/公型

耗材

名称 说明
石英监控器晶体

手册

手册

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