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SFM5400质量流量计具有的精度(误差<1%)、可重复性和长期稳定性,宽动态测量范围。SFM5400由金属制成,且高度可配置。它采用多种机械连接和电气接口,可测量50 sccm和200 slm之间的流量。传感器信号可在芯片上直接转换成数字、*校准和温度补偿的信号。多个气体校准可以存储在一个器件中。此外,流量计可以检查激活的气体校准是否与实际存在气体相匹配。SFM5400的通用性使它成为工业和医疗应用的理想解决方案。
SFM5400质量流量计的杰出性能基于创新的CMOSens® 技术,它在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感元件和信号处理电路。结合优质材料,实现了一个持久稳定、快速和高精度的质量流量计。
SFM5400质量流量计是SFC5400质量流量控制器的无阀门版本。SFC5400质量流量控制器与质量流量计具有相同的性能特性,并适用于类似的应用,这两个产品可以结合在一起。在SFC5400 网站,你可以找到关于质量流量控制器的进一步信息和详细规格。
您可以从这里下载有关Sensiron气体质量流量计的文件。
SFC5000质量流量控制器满足宽动态量程范围的高精度和高重复性的控制要求,是多种工业和医疗应用的理想方案。
SFM5300气体质量流量计尺寸紧凑,是SFM5400气体质量流量计的简化版。该传感器专门针对成本敏感的大批量OEM项目。
SFC5300质量流量控制器专门为大批量的成本敏感的OEM项目而设计,是SFC5400的紧凑版本。
除了标准的气体流量传感器解决方案,我们也以吸引力的性价比提供定制化OEM传感器解决方案。我们可为您调整或开发定制的气体质量流量计。