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激光分子束外延系统 Pioneer 180 MAPLE PLD

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2021-11-17
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北京正通远恒科技有限公司

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基质辅助脉冲激光蒸发(MAPLE)是PLD的一种变体
详细信息

基质辅助脉冲激光蒸发(MAPLE)是PLD的一种变体。这是由NRL集团引入的,以促进某些功能有机材料的薄膜沉积。基于UV (5-6 eV)的传统PLD技术可能不适用于这种情况,因为光化学反应可能会恶化有机分子、聚合物等的功能。在MAPLE中,通过将待沉积的有机物(或聚合物)与吸收激光波长的溶剂(基质)混合来制备特殊的靶。除了光学吸收外,在沉积条件下的高蒸气压是基质的先决条件。然后用液氮冷却液体目标物,使其冻结为固体。激光辐射主要被目标的高挥发性、冷冻的溶剂(基质)分子吸收,这些分子随后从固体目标中脱离,捕获和带走感兴趣的有机分子。在它们向基片传输的过程中,高挥发性的基质分子被抽走,将有机分子输送到基片上沉积薄膜。

脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition)是一种用途广泛的薄膜沉积技术。脉冲激光快速蒸发靶材,生成与靶材组成相同的薄膜。PLD 的*之处是能量源(脉冲激光)位于真空室的外面。这样,在材料合成时,工作压力的动态范围很宽,达到10-10 Torr ~ 100 Torr。通过控制镀膜压力和温度,可以合成一系列具有*功能的纳米结构和纳米颗粒。

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