使测量速度、精确度都大大提高。新机床出厂前都要进行定位精度和重复定位精度以及反向间隙的检测，现在大多使用激光干涉仪进行；不管是三轴联动、五轴联动还是九轴联动数控机床，机床在进行了长时间运行加工都会因为导轨滚珠丝杆的磨损等综合因素，有一定的偏差，导致数控机床的加工精度逐渐偏离标准。激光干涉仪的用途就是专门用来测量、校准数控机床、三坐标、自动化设备等导轨的运动精度，尤其是在数控机床领域，激光干涉仪是强有力的检测仪器。

中图仪器研发生产的SJ6000深圳工业激光干涉仪，能对机床进行校准、补偿，可以与机床系统对接进行自动化测量，将测量误差导入到数控系统，实现精度自动补偿。

产品参数

产品型号：SJ6000

产品名称：SJ6000激光干涉仪

稳频方式：激光热稳频

稳频精度：0.05ppm

线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃

线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）

角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

测量分辨力：1nm

动态采集频率：50KHz

预热时间：≤6分钟

工作温度范围：（0-40）℃

环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%

主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便

技术参数

SJ6000深圳工业激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。也可以实现一次安装即可沿任意方向的线性轴同时测量5个自由度的误差，包括1个线性误差、2个角度误差和2个直线度误差。

测量机床回转轴精度

测量机床偏摆角度

数控机床精度校准

产品配置与证书

中图仪器一直以实现高精密仪器自主化为己任，在以往中国市场都是国外品牌的激光干涉仪情况下，推出SJ6000激光干涉仪。客户对我们的认可是我们不断前行的动力！未来，中图仪器还将专注于精密测量检测技术的发展，自强不息、知难而上、勇于创新！